31a-PS-19 反転円筒形ターゲットDCスパッタ法による(110)配向YBC薄膜の作製と評価
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1994-03-16
著者
-
青峰 隆文
九大理
-
深見 武
九大理
-
市川 聡夫
九大理
-
内山 哲治
九大理
-
内山 哲治
東工大・理
-
内山 哲治
東京工業大学大学院理工学研究科物性物理学専攻
-
深見 武
Department Of Materials Science And Engineering Faculty Of Engineering Himeji Institute Of Technolog
-
山邊 敬一郎
九大理
-
山崎 有司
九大理
-
青峰 隆文
Department Of Physics Kyushu University
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