28aZE-5 Si-C 混合膜からの結晶化

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2003-03-06

著者

• 墻内 千尋

  立命館大理工

• 鈴木 仁志

  立命館大理工

• 木村 勇気

  立命館大理工

• 齋藤 嘉夫

  京工繊大

• 谷垣 俊明

  立命館大理工

• 木村 勇気

  立命館大 理工

• 石河 学

  立命館大理工

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