30pZL-14 ヘリカルアンテナ間位相差制御高周波放電プラズマの特性

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2003-03-06

著者

• 畠山 力三

  東北大院工

• 佐藤 玄太

  東北大院工

• 石田 裕康

  東北大院工

• 大原 渡

  東北大院工

• 大原 渡

  山口大学

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