10a-L-4 水素排気用50,000l/secクライオポンプの排気特性
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1977-09-20
著者
-
斎藤 正樹
日本真空技術(株)
-
柴田 猛順
原研東海研
-
大賀 徳道
原研那珂研
-
柴田 猛順
原研
-
奥村 義和
原研
-
桜庭 順二
住友重機械
-
大賀 徳道
原研 NBIグループ
-
桜庭 順二
住友重機
-
森本 秀俊
日本真空
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