29p-J-6 水素終端Si表面に残存するF原子の消失反応メカニズム : 量子化学的検討

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1995-03-16

著者

• 吉村 玲子

  (株)東芝研究開発センター

• 多田 宰

  (株)東芝研究開発センター

• 多田 宰

  東芝研究開発センター

• 吉村 玲子

  東芝研究開発センター

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