17aTF-10 RFプラズマを用いた窒化物粒子の創製

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2001-09-03

著者

• 墻内 千尋

  立命館大理工

• 齋藤 嘉夫

  京都工芸繊維大

• 佐藤 岳志

  日立ハイテクノロジーズ

• 佐藤 岳志

  立命館大理工

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