シリコン気相成長層の表面欠陥 : 半導体 : 気相成長

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1965-04-06

著者

• 加藤 健敏

  東芝 半導体技術部

• 堤 宏

  東芝 半導体技術部

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