イメージング/シェーピング技術を用いた紫外線固体レーザによるブラインドビア形成

概要

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紫外線固体レーザを用いて樹脂にブラインドビアを形成するに当たって, イメージング転写技術とビーム整形技術を採用した技法を紹介する。これらの技術の採用により, 加工ビア形状のみならず内層銅へのダメージの制御に大幅な向上を確認した。この論文では, ビア形成と照射されたフルーエンスの関係についても論じる。特定のレーザにおいてビア形成時間を最小にするフルーエンス範囲があることを示す。すなわち, それは1.5から2.5J/cm^2の範囲であり, この範囲を超えるとフルーエンスの増加に伴うレーザパルス当たりの樹脂除去量が減少し, この範囲を両側にはずれるとビアの形成時間が増大する。これらから, 与えられたレーザにおいて最大のスループットを得るためにプロセスを最適化することが可能である。最後に, 新しいより高出力のレーザを用いてのプロセススループットのスケールアップについても述べる。フルーエンスはプロセスのスケーリングに特に重要な要素で, その結果についても述べる。
社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
2001-09-01