工作機械直進テーブル運動精度の6自由度同時測定法の提案
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概要
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Linear motion error of the machine tool table consists of six components. So far, these components are measured separately, then the results of the measurement are different according to the method and the reference of the measurement. Therefore the new measuring method is proposed to measure all six components simultaneously and the new measuring system is made. This system consists of a laser interferometer system to measure positioning error, and three quadrant photo-diodes to measure two translational and three angular motion errors by detecting deviations of laser spot emitted from the laser source of the interferometer system. From the practical test on a milling machine with this system, the propriety of the proposed method is made clear.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2001-01-05
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