能動制振機構を備えた除振台の開発
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概要
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Isolation tables are effective in preventing vibration. If objects on a table move, however, the table starts vibrating at a low frequency, with a large displacement due to the force of the impact. Some equipment on an isolation table cannot be kept at a constant distance from equipment on the ground. To overcome this problem, An active vibration control mechanism based on state feedback control using 4 voice-coil motors was developed. This system could suppress the displacement of the isolation table at 100 μm even if some objects on the table moved.
- 社団法人精密工学会の論文
- 1992-07-05
著者
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関口 英紀
富士通株式会社
-
関口 英紀
(株)富士通研究所
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阪田 裕司
(株)富士通研究所
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阪田 裕司
(株)富士通研究所 計測制御システム研究部
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鎌田 徹
(株)富士通研究所
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田畑 文夫
(株)富士通研究所
-
鎌田 徹
富士通研
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