エレクトロニクス産業関連の欠陥検査(<特集>表面欠陥検査の現状と問題点)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• 表面欠陥検査はまだ人手に頼る場合が多い.しかしエレクトロニクス産業における欠陥検査のように,広い面積の中の微小欠陥検出においては,肉眼作業の疲労の問題から,レーザを用いた方法が使われ始めている.<BR>ここでは,パターンのある表面の検査に的を絞り,各種方法を紹介した.ハイテク産業の発展とともに,今後ますます欠陥検出感度向上の必要性が高まるものと思われる.

• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1987-08-05

著者

• 小野 明

  (株)東芝

関連論文

• レーザー加工用高出力完全固体化レーザー技術
• CADデータとの比較によるパターン検査アルゴリズム
• 1kW級ロッド型LD励起YAGレーザーの開発
• エレクトロニクス産業関連の欠陥検査(表面欠陥検査の現状と問題点)

スポンサーリンク