静圧支持回転軸系の回転振れ自動補正機構
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概要
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The possibility of a hydrostatically supported spindle having small radial runout not exceeding 0.01 μm is examined. The new mechanism compensating the radial motion error is proposed. The mechanism consists of two micropositioning devices called closed looped differential hydrostatic actuator, and their operating directions are at right angle each other. The micropositioning device, having a stiffness of the order of 10^4 N/μm, controls the radial motion of a spindle within 0.001μm. The experimentation shows that the resolution is within 0.001μm, the bandwidth of the control system is about 90 Hz, and the interference between the two positioning devices is negligible small. The radial motion error may be compensated by the proposed mechanism.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1987-07-05
著者
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