ヘテロダイン応用モアレ法による真直度の測定
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概要
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Heterodyne moire method is applied to the displacement measurement of the interference fringes, which act as the normal lines in the straightness measurement. As the phase difference of the moire fringes is detected that are transformed into time frequency by the tranferring reference grating with a constant speed, the measurement is done with short time and high accuracy, and also continuously. Further, it is confirmed that the flutter of the laser beam can be controlled by sending the air flow to the beam.
- 社団法人精密工学会の論文
- 1985-05-05
著者
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