投影じま自動焦点法による厚さ及び形状測定(<特集>光学的非接触方式による高精密測定技術)

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1985-04-05

著者

• 押田 良忠

  生産技術研究所

• 押田 良忠

  (株)日立製作所

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