押田 良忠 | 生産技術研究所
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概要
関連著者
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押田 良忠
生産技術研究所
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芝田 行広
生産技術研究所
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佐藤 秀寿
(株)日立製作所 中央研究所
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斉藤 徳郎
(株)日立製作所 中央研究所
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酒井 広之
計測器事業部
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佐藤 秀寿
(株)日立製作所中央研究所
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斉藤 徳郎
(株)日立製作所
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押田 良忠
(株)日立製作所
著作論文
- 電子ビーム描画装置用ウエーハ高さ検出装置の開発
- 投影じま自動焦点法による厚さ及び形状測定(光学的非接触方式による高精密測定技術)
- 行単位情報表示形空間変調器によるホログラフィ
- 自動焦点用センサによる印刷回路パタ-ンの膜厚測定 (最新光センサ応用実例集--目視検査工程自動化の実際)
- ホログラフィの応用-2-