フィルム表面の高平滑微細成形と光MEMSへの応用(<特集>MEMSの製品化を担う実装技術)

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概要

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• 社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
• 2004-07-01

著者

• 飯田 健二

  三井化学株式会社機能材料研究所

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