Thin Film Formation of GaN using Ga Sputtering in N2 Plasmas

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概要

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• 同志社大学の論文

著者

• Kasuya T

  同志社大学工学部

• Kasuya Toshiro

  同志社大学工学部

• Tadashi Ohati

  同志社大学工学部

• Ohachi Tadashi

  同志社大学工学部

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