<記事>(4) 相変化型光ディスク用スパッタ膜の評価(主題「スパッタ法による薄膜の作製・評価と素材」)(特定テーマシンポジウム)(素材工学研究会記事)

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概要

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• 東北大学の論文
• 1998-03-27

著者

• 佐藤 史朗

  株式会社リコー研究開発本部中央研究所第五研究センター

• 佐藤 史朗

  リコー応用電子研究所

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