Effect of Angular Distribution of Ejected Atoms from a Target on the Uniformity of Thickness and Composition of MoSi_x Sputtering Films

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概要

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• 富山大学の論文

著者

• 杉本 啓郎

  富山大学教育学部

• 横田 稔秀

  富山大学工学部

• 竹森 一浩

  富山大学教育学部

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