交流マグネトロン型プラズマ源の開発

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概要

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著者

• 宮本 直樹

  日新イオン機器

• 宮本 直樹

  日本原子力研究所那珂研究所

• 和田 元

  Department of Electrical engineering, Doshisha University

• 前野 修一

  Nissin Electric Co. Ltd.

• 山内 哲也

  Department of Electronics, Doshisha University

• 粕谷 俊郎

  Department of Electronics, Doshisha University

• 宮本 直樹

  Nissin Electric Co. Ltd.

• 大谷 芳亨

  Nissin Electric Co. Ltd.

• 山内 哲也

  Department Of Electronics Doshisha University

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