アルコール蒸気中での炭素系薄膜の生成 II : DC プラズマ CVD
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概要
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メチル・アルコール蒸気中で直流(DC)高電圧を印加し, タングステン電極間にグロー放電を発生させると, 数時間後に陽極に晶癖を持った結晶粒を含む炭素系薄膜が生成されることを走査電子顕微鏡(SEM)によって観察した。生成された炭素系薄膜の中にダイヤモンドが存在することをX線回折によって同定した。
- 弓削商船高等専門学校の論文
- 1997-02-28
著者
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