高1/fゆらぎ試料の製作 : 加熱酸化の効果
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概要
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A new method was devised to prepare resistors which generate high 1/f fluctuation. A metal microbridge with a volume less than 10^<-17>mm^3 is formed between the conductor deposited at the bottom of the scratch on the upper step of an insulating substrate and the conductor deposited on the lower step of the substrate. Samples with the relative fluctuation level of more than-70db was obtained. It was found that the oxidation of the deposited metal was effective to increase the relative fluctuation, and also effective to make the resistance of the sample the desired value.
- 山梨大学の論文
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