<研究報告>非平衡アルゴン高周波プラズマの研究(2)

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概要

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• High frequency induction plasma has received considerable interest in recent years in conection with two related field of application. Especially, it is expected to create new type materrials and new type Semiconductors. But it is not established that theory of high frequency induction plasma. There is very litte quantitative data on high fequency induction plasma, specially, there is no report discharge tube inner workcoil systems which is one of boundary condisions in plasma production. In this paper, theory of conductivity in weakly ionized plasma are described and are related to three type of boundary conditions of experiment.

• 沼津工業高等専門学校の論文
• 1988-01-30

著者

• 青木 振一

  沼津工業高等専門学校

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