<研究報告>中間圧力下における非平衡アルゴン高周波誘導プラズマの研究

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概要

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• High frequency induction plasma has received considerable interest in recent years in connection with two related field of application. Especially it is expected to create new type materials and Semiconductor. But it is not estasblished that theory of high frequency induction plasma. Moreover,there is very little quantitative data on high frequency induction plasma. A proper experimental study of high frequency induction plasma is needed. In the present paper, theory of induction plasma are described and are related to experiment.

• 沼津工業高等専門学校の論文
• 1987-01-31

著者

• 青木 振一

  沼津工業高等専門学校

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