ソフトフェライト膜作用Nd:YAGレーザーPLDシステムの開発
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概要
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It was reported preparation of soft-ferrite film on the room-temperature substrate by pulse laser deposition (PLD) method with excimer laser. Thereafter, soft-ferrite film preparation by PLD method is widely noticed. But excimer laser is difficult to keep maintained by small laboratory, because of the running costs of excimer laser are very expensive. On the other hand, Nd : YAG laser has advantages of low running costs, high energy-stability and so on. So, PLD system with Nd : YAG laser was developed for soft-ferrite film preparation. In this report, we introduce details of the developed pulse Nd : YAG laser deposition system.
- 長崎大学の論文
著者
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本城 隆
長崎大学
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辻 峰男
長崎大
-
辻. 峰男
電気電子工学科
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辻. 峰男
大学院生産科学研究科
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本城 隆
電気電子工学科
-
泉 勝弘
九州工業大学工学部電気工学科
-
泉 勝弘
有明工業高等専門学校電気工学科
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