外部シード固相エピタキシーにおける Si 表面の平担化処理効果

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概要

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• 近畿大学の論文

著者

• 土居 功年

  近畿大学理工学部電気工学科

• 土居 功年

  近畿大学

• 土居 功年

  近畿大学理工学部

• 辻本 博

  近畿大学工学研究科

• 吉田 典生

  リコー(株)

• 吉田 典生[他]

  リコー(株)

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