Siウェハの少数キャリア寿命に対する酸化りんゲッタリングの効果 (記念号)

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概要

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• 近畿大学の論文

著者

• 中田 淳一

  近畿大学理工学部電気工学科

• 藤林 肇次

  近畿大学理工学部電気工学科

• 義井 弘一

  尼崎市役所

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