Computational Studies on Plasma Generation in an Ion Source

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 東北大学の論文

著者

• イド シュンジ

  Faculty Of Engineering Saitama University

• カシワギ ミエコ

  Faculty of Engineering, Saitama University

• カシワギ ミエコ

  Faculty Of Engineering Saitama University

関連論文

• Computational Studies on Plasma Generation in an Ion Source
• Erosion Simulations in a Magnetrons Sputtering System

スポンサーリンク