Progress in Speeding Up PIC-MCC Codes Applied to RF Plasma Discharges

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概要

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• 東北大学の論文

著者

• Kawamura Emi

  Graduate Student University Of California Berkelely

• Birdsall Charles

  Professor University Of California Berkelely

• Vahedi Vahid

  Engineer, Lam Research Corp., Fremont CA.

• Vahedi Vahid

  Engineer Lam Research Corp. Fremont Ca.

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