<ノート>平面型リニアパルスモータの閉ループ精密位置決め
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概要
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A dual-axis positioning system of high accuracy has been developed using two Sawyer linear motors. The fundamental positioning characteristics of the motor have been described. Maximum absolute positioning errors on the positioning plane were mechanically improved within 12 [μm]. A Fizeau-type laser interferometer with a resolution of 0.2[μm] was used for displacement measurement. The positioning accuracy has been improved within 1[μm] by using a microstep electric operation and a computer controlled close loop operation.
- 愛知工業大学の論文
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