[V] 北大工学部原子工学科高真空工学研究室における研究の現状と計画について
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概要
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当研究室においては昨年度に引き続き,各種表面測定手段を用いPlasma-Wall Interactionに関する研究を行なっているが,1979年∿1980年における主要な研究テーマと主要な測定手段は下表の通りである。また最近の当研究室の活動状況について国際会議で発表した論文の概要を以下に記す。なお当研究室における最近の研究成果は今秋の応用物理学会,日本原子力学会,日本金属学会で発表の予定であるが,ここでは応用物理学会で講演予定の要旨を参考までに末尾に掲載する。1. Fundamental Study of Plasma-Wall Interactions in Fusion Devices 1) Surface analysis of low-Z materials after irradiations 2) Sputtering yield measurement 3) Roughness factor measurement 4) Coatings of low-Z materials onto metal surfaces 2. Quantitative Surface Analysis of Alloys 1) Surface segregation of binary alloys 2) Selective sputtering process of binary alloys 3) Analysis of altered layers formed by ion-bombardment 4) In-depth profiling of coated layers 3. Development of Surface Analysis Techniques 1) "in situ" and simultaneous measurements by combined systems 2) Microbalance techniques with ion guns 3) Roughness factor measurement in atomic scale Main Experimental Equipments in Our Laboratory AES-SIMS-FDS AES-LEED IMA (dynamic SIMS) with 30KeV ion gun Microbalance with ion gun Roughness factor measurement in atomic scale r. f. sputtering apparatus Evaporation system of films (electron beam and others) SEM Mass spectroscopy IRなお本年度はとくにLow-Z化合物のイオンビームとの相互作用ならびに金属表面へのLow-Z化合物coatingsの問題を主要研究テーマとしている。現在取り扱っている材料は以下のようである。Metals : SUS, Ti, Mo, Al, Si Low-Z Materials : TiC, TiN, SiC, SiN, BN, B_4C Coatings : SiC, TiC, TiNこれらの研究テーマに,現在5名の教官職員ならびに9名の学生(DC. 1,MC. 4,UG. 4)が従事している。また当研究室は名古屋大学プラズマ研究所と共同研究を実施しているほか,通産省北海道工業開発試験所ならびに(株)日立製作所中央研究所と協力研究を行なっている。
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