イオン液体を介した真空蒸着法による薄膜形成技術の開発

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概要

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• 2013-04-10

著者

• 松本 祐司

  東京工業大学応用セラミックス研究所

• 松本 祐司

  東京工業大学 応用セラミックス研究所

• 武山 洋子

  福島大学共生システム理工学類

• 丸山 伸伍

  東京工業大学応用セラミックス研究所

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