厚膜SOI基板上に形成した600V-LDMOSの高電圧配線技術

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概要

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• 2010-11-29

著者

• 赤羽 正志

  富士電機システムズ株式会社

• 澄田 仁志

  富士電機システムズ株式会社

• 山路 将晴

  富士電機システムズ株式会社

• 上西 顕寛

  富士電機システムズ株式会社

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