高電圧ICプロセスにおける中空を有するトレンチ分離の効用

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概要

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• 2012-10-25

著者

• 古谷 啓一

  ルネサスセミコンダクタエンジニアリング

• 一法師 隆志

  ルネザスエレクトロニクス

• 城本 竜也

  ルネザスエレクトロニクス

• 大西 一真

  ルネサスセミコンダクタエンジニアリング

• 大津 良孝

  ルネサスセミコンダクタエンジニアリング

• 宮島 貴司

  ルネサスセミコンダクタエンジニアリング

• 森井 勝巳

  ルネサスセミコンダクタエンジニアリング

• 清水 雅裕

  ルネサスセミコンダクタエンジニアリング

• 新田 哲也

  ルネザスエレクトロニクス

• 吉久 康樹

  ルネザスエレクトロニクス

• 畑迫 健一

  ルネザスエレクトロニクス

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