HOLZ線図形をもちいたSiGe/Si界面近傍の格子湾曲および伸張歪みの解析

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概要

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• 日本金属学会の論文
• 2012-08-01

著者

• 齋藤 晃

  名大エコトピア研

• 齋藤 晃

  東北大多元研

• 齋藤 晃

  名古屋大学エコトピア科学研究所

• 斎藤 晃

  東北大学多元物質科学研究所

• 斎藤 晃

  東北大学 科学計測研究所

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