High-Throughput UV Nanoimprint Process Using Flexible Resin Mold for High-Brightness Light-Emitting Diodes

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概要

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• 2012-08-01

著者

• Shinohara Hidetoshi

  Toshiba Machine Co., Ltd.

• Tashiro Takaharu

  Toshiba Machine Co., Ltd.

• Nishihara Hiromi

  Toshiba Machine Co., Ltd.

• Ookawa Takafumi

  Toshiba Machine Co. Ltd.

• Nishihara Hiromi

  Toshiba Machine Co. Ltd.

• Tashiro Takaharu

  Toshiba Machine Co. Ltd.

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