マイクロ波を利用した微細電子回路上の金属加熱技術の開発

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概要

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• The microwave heating system using evanescent wave for soldering fine circuits had been proposed. The evanescent wave is useful for the microwave heating very locally. The heating system consists of a matching circuit and a resonator for enhancing the magnetic field around the mouth of a circular waveguide in which the strong evanescent waves are excited. The experiments of heating lead-free solders have been done with the microwave at a frequency of 2.3-2.35 GHz and a power of about 200 W. The lead-free solder can be heated locally to be melted with microwave without any breakdown in the resonator.

• 社団法人 電気学会の論文
• 2011-08-01

著者

• 三枝 幹雄

  茨城大学大学院理工学研究科

• 孫 勝国

  茨城大学大学院理工学研究科

• 武川 哲也

  茨城大学大学院理工学研究科

• 菅原 修平

  茨城大学大学院理工学研究科

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