大口径SiC単結晶基板の開発動向

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概要

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• 2011-06-20

著者

• 大谷 昇

  関西学院大学sic材料・プロセス研究開発センター

• 大谷 昇

  関西学院大学 SiC 材料・プロセス研究開発センター

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