大気圧非平衡DCパルスプラズマジェットによる半導体製造過程における洗浄技術の開発
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2009-08-06
著者
-
赤塚 洋
東京工業大学
-
湯地 敏史
宮崎大学 教育文化学部
-
湯地 敏史
佐土原高校
-
赤塚 洋
東京工大
-
Ezoubtchenko Alexandre
Research Laboratory For Nuclear Reactors Tokyo Institute Of Technology
-
川野 泰和
大分大学
-
龍口 直人
大分デバイステクノロジー(株)
-
佐藤 慎也
JASCOエンジニアリング(株)
-
湯地 敏史
宮崎大学
関連論文
- 20aTJ-7 窒素プラズマ中の窒素解離度のアクチノメトリー法測定と希ガスの混入効果(20aTJ プラズマ基礎(原子過程),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- アクチノメトリー法および第1正帯バンドスペクトルの減算による窒素プラズマ中の窒素解離度の測定
- エネルギー問題へ関心の高い宮崎県民向けアンケート調査
- 中学生出前授業での再生可能エネルギーに対する意識調査
- アルカリフッ化物-アルカリ土類フッ化物融体中のフッ化テルビウムの構造解析
- 大気圧非平衡マイクロ波プラズマジェットを用いたPENフィルム表面処理における基礎特性
- 興味・関心の高い児童生徒に対するものづくり教育のあり方 : -「理科大好きボランティア支援」活動の一環として-
- 風力発電が電力系統の負荷周波数制御に及ぼす影響の評価
- 小型風車における強風時の回転制御の検討
- ステンレス線を用いた限流ヒューズにおけるインパルス大電流溶断特性の検証
- 50W級小型風車における始動特性改善の検討
- 小型風車ブレードの簡易故障診断法の提案
- 11.ステンレス線を用いた螺旋状エレメント形限流ヒューズの溶断特性の検証(自然科学)
- 大気圧非平衡マイクロ波プラズマジェットの発光分光計測と表面改質プロセスの相関
- マイクロ風力発電機の大出力化に関する研究
- 小型風車におけるフリーヨー機構の検討
- 50W級小型風車における出力特性の検討
- 分光法によるコロナ放電の温度測定
- ステンレス線を用いた低コスト高圧カットアウトヒューズの開発
- 高圧カットアウトヒューズに発生するコロナ放電の温度測定
- 地熱発電用鋼管におけるスケール厚さ測定手法の検討
- 26pA23p 金属試料への水素プラズマ照射時の反射粒子光の分光測定(プラズマ基礎/壁相互作用)
- 分光学的診断と分子動力学法計算を用いた非平衡プラズマ伝熱の基礎研究
- 23aRE-9 低気圧水素プラズマ中の励起状態に関する電子エネルギー分布の重要性(プラズマ基礎(原子過程・分光・診断法),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- マイクロ波放電窒素プラズマ中におけるN_2 C^3Π、B^3Π状態の振動温度に関する分光学的研究
- 放電プラズマの中性粒子温度に関する直接モンテカルロシミュレーション
- 溶融希土類フッ化物の短距離構造解析
- 高温におけるSrF_2のXAFS解析
- 領域2「現代プラズマ科学の最前線〜学際連携によるプラズマ理工学のさらなる展開」(第64回年次大会シンポジウムの報告)
- 領域2「可視・近紫外プラズマ分光〜核融合と基礎プラズマを診る〜」(2008年秋季大会シンポジウムの報告)
- アルメニアノート
- 超音速プラズマ流の失速に及ぼす中性粒子衝突の影響
- 1p-YR-2 直流放電希ガス同位体分離現象の基礎研究
- 発光分光計測を用いたプロセスプラズマの診断
- 24aQA-3 超音速プラズマ流の亜音速遷移に関する中性粒子衝突の影響(24aQA プラズマ基礎(波動・加熱・輸送・放電・非中性プラズマ・高エネルギー密度プラズマ),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 28aYL-10 開放端磁場におけるヘリウムアークプラズマ流の超音速加速と電位形成(プラズマ基礎(波動・加熱・不安定性・輸送・閉じ込め特性),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 開放端磁場におけるアークプラズマ流の超音速イオン加速と電位形成
- 23aQB-6 大気圧アルゴンプラズマの励起状態数密度に関する理論検討(2)(23aQB プラズマ基礎(原子過程・分光・診断法),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 27pUC-7 大気圧アルゴンプラズマの励起状態数密度に関する理論検討(27pUC プラズマ基礎(原子過程・分光・診断法),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- マイクロ波放電大気圧酸素プラズマの分光診断
- 放射線管理区域跡地の再開発を規制する法令の不備
- 画像計測技術を用いたサブクール沸騰流における気泡の凝縮特性の計測
- 28aXH-5 直流放電同位体分離現象に関するDSMCシミュレーション : 磁場の影響の検討
- 27pA13P マイクロ波放電プラズマの非平衡性と分光学的特性に関する研究(プラズマ基礎・応用)
- 24pXG-10 マイクロ波放電窒素プラズマの振動励起準位数密度の研究
- 24pWE-4 アルゴンプラズマジェットにおける反転分布生成のためのHeガス接触実験
- 24pWE-3 希ガスの低気圧直流放電管中の同位体分離現象のDSMCシミュレーション
- 放電励起酸素ヨウ素レーザーのための酸素プラズマパラメータについて
- マイクロ波放電大気圧酸素プラズマの受動・能動分光診断
- 画像処理技術を用いたスラグ気泡流動特性の計測技術-(第2報, スラグ気泡流のWakeの流れ場と液膜流速計測技術)-
- 画像処理技術を用いたスラグ気泡流動特性の計測技術-(第1報, スラグ気泡の上昇速度と液膜厚計測技術)-
- 26pC10p 放電励起酸素-ヨウ素レーザーのための酸素プラズマの生成と診断(計測/炉設計)
- 26pB4 アルゴンプラズマへのヘリウムガス接触による電子温度低下の数値解析(計測/壁相互作用)
- 24aYF-4 低気圧直流ネオン放電管中の同位体分離現象のDSMCシミュレーション
- 28p-XM-3 マイクロ波放電大気圧酸素プラズマの分光診断・レーザー診断
- 28p-XM-2 アルゴンプラズマジェットと水素分子との衝突による電子温度低下の数値解析
- 3. 直流放電プラズマを用いた同位体分離 : プラズマを利用した同位体分離
- 2. RF放電プラズマを用いた同位体分離 : プラズマを利用した同位体分離
- 2a-YQ-12 衝突・放射モデルによる,アルゴンプラズマの分光診断
- 大気圧マイクロ波加熱酸素プラズマの安定放電条件と数値解析
- 5a-Yp-13 マイクロ波加熱大気圧酸素プラズマの分光診断
- 磁気トラップ膨張プラズマジェットの分光診断
- 核融合炉におけるトリチウム燃料の循環精製技術開発
- 14a-DB-5 アーク加熱磁場トラップ膨張プラズマジェットにおける定常反転分布 I : 水素及びヘリウム原子
- 2605 超振動流水を用いた電解生成酸水素ガスの特性(II)(S31-1 温室効果ガス排出抑制技術(1),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 画像処理技術を用いたスラグ気泡流動特性の計測技術 : 第2報, スラグ気泡流の Wake の流れ場と液膜流速計測技術
- 画像処理技術を用いたスラグ気泡流動特性の計測技術 : 第1報, スラグ気泡の上昇速度と液膜厚計測技術
- プラズマを利用した同位体分離
- 放電窒素プラズマの励起状態数密度に関する原子分子素過程的考察
- 基礎講座 放電プラズマの分光計測(第1回)発光分光法
- 50W級小型風力発電機における故障レベルの検討
- 船上における50W級小型風車の基礎特性
- 新型限流ヒューズにおける溶断特性の検討 (II)
- 「ビジュアル通気性測定」の提案
- 市販教材による色彩感性の評価と色彩教育の検討
- 旧くて新しい非平衡プラズマ分光計測の新展開 : 大気圧アルゴンプラズマと減圧窒素プラズマ
- ミラー型およびカスプ型磁場におけるアークジェットのプラズマパラメータに関する実験的研究
- 低圧高周波プラズマCVD法におけるプラズマ表面処理技術からのプラズマ基礎特性の解明
- 衝突輻射モデルに関する線形常微分方程式論的考察
- 小型風力発電機における故障予知診断法の検討
- 力を蓄えた原子力の基礎科学・基礎工学-着実な展開の確認 : 「第3回革新的原子力エネルギーシステム国際シンポジウム」概要
- 直流放電プラズマ中の中性粒子流れに起因する同位体効果
- ニッケル水素2次電池からの希土類回収プロセス-溶融塩電解法の適用性検討
- 窒素 - 希ガス混合マイクロ波放電プラズマの発光分光計測とダブルプローブ計測
- 大気圧非平衡DCパルスプラズマジェットによる半導体製造過程における洗浄技術の開発
- 定常膨張プラズマジェットの発する再結合連続スペクトルの発光分光計測
- マイクロ波励起による希ガス混入酸素プラズマの特性解析
- 大気圧非平衡DCパルス放電プラズマの発光分光計測及びPENフィルムの表面改質
- ステンレス線を用いた限流ヒューズの基礎特性の検討
- オイラー法による大気圧非平衡DCパルスプラズマ中のラジカルシミュレーション
- 発光分光計測を用いたマイクロ波放電窒素プラズマのN_2^+の振動, 回転温度評価
- 廃棄GFRPを再利用した高強度多孔質タイルの開発 : タイルの特性に及ぼすGFRPの粒度の影響
- 低気圧放電酸素プラズマ中のO_2分子とO_2^+分子イオンの回転温度差について
- 低気圧マイクロ波放電水素プラズマの非平衡性に関する分光学的研究
- 開放端磁場で膨張加速する弱電離アークジェットの粒子シミュレーション-希薄流体として
- ミラー型およびカスプ型磁場におけるアークジェットのプラズマパラメータに関する実験的研究
- 開放端磁場で膨張加速する弱電離アークジェットの粒子シミュレーション-希薄流体として
- 低気圧放電酸素プラズマ中のO_2分子とO_2^+分子イオンの回転温度差について
- 彎曲磁場中に入射する電子磁化・イオン非磁化定常プラズマ流に関する実験的研究
- 彎曲磁場中に入射する電子磁化・イオン非磁化定常プラズマ流に関する実験的研究