制御されたSF_6-Ar混合ガスプラズマによるガラス状炭素の精密表面特性制御
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概要
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- 1997-05-15
著者
-
大手 丈夫
群馬工業高等専門学校
-
泉 順
群馬工業高等専門学校電子情報工学科
-
石原 秀俊
群馬工業高等専門学校生産システム工学専攻
-
小島 昭
国立群馬工業高等専門学校物質工学科
-
東 順
群馬工業高等専門学校電子情報工学科
-
泉 順
国立群馬工業高等専門学校電子情報工学科
-
石原 秀俊
国立群馬工業高等専門学校生産システム工学専攻
-
大手 丈夫
国立群馬工業高等専門学校電気工学科
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- サマリー・アブストラクト
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