Air-Annealing Effects for Pt/Ti Gate Si-Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors Hydrogen Gas Sensor

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概要

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• Japan Society of Applied Physicsの論文
• 2010-04-25

著者

• Usagawa Toshiyuki

  Advanced Research Laboratory Hitachi Ltd.

• KIKUCHI Yota

  Advanced Research Laboratory, Hitachi, Ltd.

• Kikuchi Yota

  Advanced Research Laboratory Hitachi Ltd.

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