集束イオンビーム装置によるダイヤモンド加工 : 第2報 : ビーム径の測定およびAFM方式加工機用加工針の試作とその評価

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概要

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• 2009-06-01

著者

• 足立 達哉

  エスアイアイ・ナノテクノジー(株)

• 皆藤 孝

  エスアイアイ・ナノテクノジー(株)

• 高岡 修

  エスアイアイ・ナノテクノジー(株)

• 中上 卓哉

  エスアイアイ・ナノテクノジー(株)

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