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中上 卓哉 | エスアイアイ・ナノテクノジー(株)
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中上 卓哉
エスアイアイ・ナノテクノジー(株)
著作論文
集束イオンビーム装置によるダイヤモンド加工 : 第2報 : ビーム径の測定およびAFM方式加工機用加工針の試作とその評価
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