静電誘引形インクジェットのレジスト塗布・適用性に関する試み
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概要
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In this study, an application of electro-statically extracted ink-jet system has been tried on to the new resist coating method. This new method is based on the corpuscles state of flying resist by electro-statically extracted ink-jet. We have learned that the effectiveness of the resist coating by using electro-statically extracted ink-jet was rather reasonable of its specific application.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2009-05-01
著者
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