切断砥石による石英ガラスの高品位溝加工に関する研究

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概要

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• 砥粒加工学会の論文
• 2009-01-01

著者

• 田中 善衛

  山形県工業技術センター

• 半田 賢祐

  山形県工業技術センター

• 江端 潔

  山形県工業技術センター

• 本多 啓志

  東ソー・クォーツ(株)

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