酸化物薄膜の成膜 : 熱化学気相成長のモデル解析とシミュレーション

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2006-09-20

著者

• 秋山 泰伸

  東海大学大学院工学研究科工業化学専攻

• 秋山 泰伸

  東海大学大学院工学研究科

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