スリーブ型極細光ファイバー式圧力センサ
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概要
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A diaphragm-type optical fiber pressure sensor, which has a sleeve for fiber insertion, is proposed and the fundamental characteristics of this sensor is demonstrated. The sleeve structure is fabricated by DRIE (Deep Reactive Ion Etching). The diaphragm with a sleeve is suitable for high reliable and easy bonding between the sleeve and the optical fiber. The light intensity change by the Fabry-Perot interferometer according to the pressure is increased by the improved DRIE method. The mass production method of the developed diaphragm will be useful to realize a low cost pressure sensor.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2008-01-01
著者
-
嶋田 勝斗
埼玉大学大学院理工学研究科情報数理科学専攻
-
杵淵 嘉夫
東海大学 開発工学部 医用生体工学科
-
高橋 幸郎
埼玉大学大学院理工学研究科
-
嶋田 勝斗
埼玉大学大学院 理工学研究科 情報数理科学専攻
-
島田 誠
埼玉大学大学院 理工学研究科 電気電子システム工学専攻
-
嶋田 勝斗
埼玉大学
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