有機 Low-k 材料を用いたバリアフリー配線

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概要

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• 2007-07-12

著者

• 多田 昌弘

  次世代半導体材料技術研究組合

• 前田 展秀

  次世代半導体材料技術研究組合

• 滝本 嘉夫

  次世代半導体材料技術研究組合

• 坂本 好謙

  次世代半導体材料技術研究組合

• 中嶋 道男

  住友ベークライト(株)

• 船津 圭亮

  次世代半導体材料技術研究組合

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