45nmノードに向けた Low-k 材料のプラズマダメージ耐性の評価

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概要

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• 2007-07-12

著者

• 多田 昌弘

  次世代半導体材料技術研究組合

• 滝本 嘉夫

  次世代半導体材料技術研究組合

• 高橋 表

  次世代半導体材料技術研究組合

• 安藤 慶人

  次世代半導体材料技術研究組合

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