Low-k 膜のダメージの質とそれに対する修復効果の最適化

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概要

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• 2007-07-12

著者

• 久保田 和宏

  東京エレクトロンAT(株)

• 浅子 竜一

  東京エレクトロン(株)

• 前川 薫

  東京エレクトロン(株)

• 藤井 康

  東京エレクトロン九州

• 田原 慈

  東京エレクトロンAT(株)

• 日向 邦彦

  東京エレクトロンAT(株)

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